半导体光罩企业FST正在芬兰Canatu公司增加碳纳米管(CNT)光罩生产设备的投资。这一举措旨在提升其在三星电子2纳米(㎚)代工工艺中应用的CNT光罩的生产能力，表明CNT光罩业务已进入量产准备阶段。
根据投资银行(IB)行业的消息，FST已向芬兰CNT技术公司Canatu下单采购CNT光罩生产用的“CNT100 SEMI”设备。这一订单是FST今年初下单的长期交货项目的后续，FST在确保长交货期部件后，进一步订购了设备本体，标志着其对CNT光罩生产能力的投资正式启动。
CNT100 SEMI是制造CNT光罩核心材料CNT膜的设备。FST正在利用Canatu的设备和技术开发用于极紫外光(EUV)工艺的CNT光罩。
光罩是用于半导体电路刻蚀时保护掩模免受灰尘等杂质影响的薄膜。随着半导体电路的微型化，任何微小的杂质都可能导致缺陷，因此光罩的重要性日益增加。特别是在EUV工艺中，需要能够承受强光并良好透光的光罩。CNT光罩是将碳纳米管制成薄膜形式，具有高透光率和耐热性等优点。
FST与Canatu的合作一直在逐步扩大，以实现量产为目标。Canatu于2024年9月向FST供应了首台CNT100 SEMI设备，该设备及后处理设备于去年7月获得客户批准。去年10月，Canatu向FST授予了CNT光罩的商业生产许可。今年初，FST首先订购了新设备所需的部件，此次则是对设备本体的进一步订购。Canatu也表示此次订单是为了提升FST的CNT光罩生产能力。
此次投资与三星电子的2纳米代工量产准备密切相关。FST与三星电子共同开发CNT光罩，三星电子在2021年向FST投资约430亿韩元以获得股份。
此外，FST还已获悉其为三星电子美国泰勒代工厂提供的EUV光罩相关设备的订单，包括光罩自动拆装设备(EPMD)、光罩膜及框架杂质检测设备(EPIS)、运输容器检测设备(EPODIS)等。这些设备是为了在三星电子的生产线上使用CNT光罩所需的设施。
随着Canatu设备的增加，FST在相关生产和设备能力方面的提升前景可期。业界普遍认为，FST已开始为三星电子的2纳米生产扩张做好CNT光罩生产量增加的准备。
Canatu首席执行官马克西米连·斯拉文斯基表示，此次订单展示了对CNT技术和生产设备的持续信任，同时也再次确认了CNT光罩在先进半导体制造中的市场机会。
※ 本报道经人工智能（AI）系统翻译与编辑。
